Rsrc
J-GLOBAL ID:201110058795700926   Research Resource code:5000001852 Update date:Feb. 09, 2005

ion milling equipment

イオンミリング装置
Owning Organization:
Contact: JIMBO Mutsuko
Resource classification: Experience equipment, Facilities, etc
Research area  (1): Electron/electric material engineering
Overview:
イオンミリング装置 主要目的:薄膜を微細加工する装置
User environment and conditions:
学内の研究に支障のないこと

Return to Previous Page