Rsrc
J-GLOBAL ID:201110059154890985   Research Resource code:5000003537 Update date:Nov. 05, 2004

ICPエッチング装置システムRIE-200iP

ICPエッチング装置システムRIE-200iP
Owning Organization:
Contact: AOYAGI Seiji
Resource classification: Experience equipment, Facilities, etc
Research area  (1): Measurement engineering
Overview:
プラズマ放電形式に誘導結合方式(ICP)を採用しシリコンディープ・
ドライエッチングを行う。
User procedures and method:
詳細は、別途担当者まで問い合わせること


Return to Previous Page