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J-GLOBAL ID:201110062985349076   Research Resource code:5000003536 Update date:Nov. 05, 2004

イオン注入装置

イオン注入装置
Owning Organization:
Contact: OMURA Yasuhisa
Resource classification: Others
Overview:
素子の動作に直接影響する不純物の制御を行う装置
User procedures and method:
詳細は、別途担当者まで問い合わせること

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