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J-GLOBAL ID:201110063827428364   Research Resource code:5000001649 Update date:Feb. 03, 2005

in-situプラズマ・表面診断装置

in-situプラズマ・表面診断装置
Owning Organization:
Contact: MATSUSHIGE Kazumi
Resource classification: Experience equipment, Facilities, etc
Research area  (1): Thin film and surface interface physical properties
Overview:
in-situ プラズマ・表面診断装置
主要目的:プラズマを利用した試料作製および作製時のプラズマ特製、
表面反応ダイナミックスの診断を行う。
Research field : 薄膜・表面界面物性
User environment and conditions:
VBLの研究プロジェクト業務の遂行に支障のないこと。
User procedures and method:
・利用手続き...詳細は、施設長まで問い合わせること。
・利用料金...別途とりきめ。
・利用者の資格...本学との共同研究者
・利用上の制約...VBL利用手引きに従う。

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