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J-GLOBAL ID:201110072377502916   Research Resource code:6000000061

マイクロフォーカスX線CT装置

マイクロフォーカスX線CT装置
Owning Organization:
Resource classification: 実験機器、施設等
Research area  (5): Applied physical properties/crystal engineering ,  Thin film and surface interface physical properties ,  Machine material/material mechanics ,  Electron/electric material engineering ,  Electronic device/electronic equipment
Overview:
X線を精密部品や電子基板などに照して得られる透過画像および断面画像によって、内在する欠陥の検出、評価(非破壊)

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