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J-GLOBAL ID:201110076170716016   Research Resource code:6000000040

マスクボンディングアライナー

マスクボンディングアライナー
Owning Organization:
Resource classification: 実験機器、施設等
Research area  (2): Structural/functional materials ,  Material processing/treatment
Overview:
フォトマスクに描かれたパターンを、感光剤が塗られた基板に転写することによる半導体微細加工等における微細パターン形成及びマスクアライメント
ガラスとシリコンを重ねて接合する際の両者間の位置合わせ

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