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J-GLOBAL ID:201110096210520900   Research Resource code:5000001643 Update date:Feb. 02, 2005

原子レベル構造観察装置

原子レベル構造観察装置
Owning Organization:
Contact: MATSUSHIGE Kazumi
Resource classification: Experience equipment, Facilities, etc
Research area  (1): Thin film and surface interface physical properties
Overview:
原子レベル構造観察装置
主要目的:超薄膜や極表面での形態観察や成分分析を原子レベルで
行うために使用する。極細電子ビームを用いて、試科
最表面や超薄膜界面の構造観察・物性解析を原子レベルで
行う。
Research field : 薄膜・表面界面物性
User environment and conditions:
VBLの研究プロジェクト業務の遂行に支障のないこと。
User procedures and method:
・利用手続き...詳細は、施設長まで問い合わせること。
・利用料金...別途とりきめ。
・利用者の資格...本学との共同研究者
・利用上の制約...VBL利用手引きに従う。

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