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J-GLOBAL ID：201202102294816687
Reference number：12A1364838
エピタキシャルBaTiO3キャパシタの開発(2)高ガス圧スパッタによる大面積化の検討
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Author (4)：
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Material：
Volume：
47th
Issue：
2
Page：
504
Publication year：
Mar. 28, 2000
JST Material Number：
Y0054A
Document type：
Proceedings
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Terms in the title (7)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
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