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J-GLOBAL ID：201202123954775137   Reference number：12A1461996

Breaking-up of step bunches on vicinal Si(111) patterned with arrays of holes

穴の配列でパターニングした近接Si(111)基板上へのステップ束のブレーキングアップ

Author (4)： LIN Feng (NTT Basic Res. lab.) ,  SUMITOMO K. (NTT Basic Res. lab.) ,  HIBINO H. (NTT Basic Res. lab.) ,  OGINO T. (NTT Basic Res. lab.)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 62nd  Issue： 2  Page： 490  Publication year： Sep. 11, 2001 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： パターニング ,  Si ,  束