Art

J-GLOBAL ID：201202202220165913   Reference number：12A0495025

Three-Dimensional X-ray Topography and Its Applications

X線トポグラフィの進展 X線トポグラフィの三次元化と応用

Author (4)： KAJIWARA KENTARO (高輝度光科学研究セ) ,  IIDA SATOSHI (富山大 理) ,  MUKAIDE DAIHEI (キヤノン) ,  KAWADO SEIJI (九州シンクロトロン光研究セ)
Material： 日本結晶学会誌  (Journal of the Crystallographic Society of Japan)
Volume： 54  Issue： 1  Page： 12-17  Publication year： Feb. 29, 2012 
JST Material Number： G0232A  ISSN： 0369-4585  CODEN： NKEGAF  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *X-ray diffraction topography ,  *stereoscopic image ,  *silicon ,  single crystal ,  *image ,  *reconstitution ,  X-ray ,  image processing ,  *lattice defect
Semi thesaurus term： トポートトモグラフィ ,  ステップスキャニングセクショントポグラフィ ,  projective image ,  シート状X線 ,  断面像

JST classification (1)： X-ray instruments and techniques  (BA02060D)

Reference (8)：

• 1) A. R. Lang: Acta Cryst. 12, 249 (1959).
• 2) K. Haruta: J. Appl. Phys. 36, 1789 (1965).
• 3) A. L. Andersen and L. Gerward: Phys. Status Solidi a 23, 537 (1974).
• 4) S. Kawado and J. Aoyama: Appl. Phys. Lett. 34, 428 (1979).
• 5) W. Ludwig, P. Cloetens, J. Härtwig, J. Baruchel, B. Hamelin and P. Bastie: J. Appl. Cryst. 34, 602 (2001).

Terms in the title (3)： X線トポグラフィ ,  進展 ,  応用