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J-GLOBAL ID：201202204609281199   Reference number：12A1327956

A narrow process window for the preparation of polytypes of microcrystalline silicon carbide thin films by hot-wire CVD method

ホット-ワイヤCVD法により重合型微結晶炭化シリコン薄膜を製作するための狭いプロセスウィンドウ

Author (6)： YOSHIDA Norimitsu (Environmental and Renewable Energy System Div., Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu City ...) ,  TERAZAWA Sho (Environmental and Renewable Energy System Div., Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu City ...) ,  HAYASHI Kotaro (Environmental and Renewable Energy System Div., Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu City ...) ,  HAMAGUCHI Tomonari (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Fac. of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu City 501-1193, JPN) ,  NATSUHARA Hironori (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Fac. of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu City 501-1193, JPN) ,  NONOMURA Shuichi (Environmental and Renewable Energy System Div., Graduate School of Engineering, Gifu Univ., 1-1 Yanagido, Gifu City ...)
Material： Journal of Non-Crystalline Solids  (J Non-Cryst Solid)
Volume： 358  Issue： 17  Page： 1987-1989  Publication year： Sep. 01, 2012 
JST Material Number： D0642A  ISSN： 0022-3093  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,  *solar cell ,  *semiconductor thin film ,  *plasma CVD ,  *silicon carbide ,  *microcrystal ,  X-ray diffraction ,  hexagonal system ,  polymer ,  substrate temperature ,  filament ,  pressure effect ,  hydrogen ,  crystal grain size ,  thermal chemical vapor deposition
Semi thesaurus term： process window ,  hot-wire CVD ,  crystallite ,  total pressure ,  silicon carbide

JST classification (3)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Solar cell  (NC03084O) ,  Inorganic compounds and elements in general  (CD01010D)

Substance index (1)： Methylsilane

Terms in the title (8)： ワイヤ ,  CVD法 ,  重合 ,  微結晶 ,  炭化 ,  シリコン薄膜 ,  製作 ,  プロセスウィンドウ