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J-GLOBAL ID：201202205018787731   Reference number：12A0539487

A roll-to-roll microwave plasma chemical vapor deposition process for the production of 294mm width graphene films at low temperature

低温での294mm幅のグラフェン膜の生産のためのロールからロールへのマイクロ波プラズマ化学蒸着プロセス

Author (5)： YAMADA Takatoshi (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  ISHIHARA Masatou (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  KIM Jaeho (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  HASEGAWA Masataka (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  IIJIMA Sumio (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...)
Material： Carbon
Volume： 50  Issue： 7  Page： 2615-2619  Publication year： Jun. 2012 
JST Material Number： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon material ,  mass production ,  *plasma CVD ,  surface wave ,  chemical reactor ,  copper catalyst ,  evaporated film ,  continuous operation ,  product quality ,  *graphene

JST classification (3)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Unit process  (XE01040I) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (5)： 低温 ,  グラフェン膜 ,  ロール ,  マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  プロセス