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J-GLOBAL ID：201202205327716059   Reference number：12A1457744

Rapid crystallization of ferroelectric lead zirconate titanate thin films by microwave heating

強誘電ジルコン酸チタン酸鉛薄膜のマイクロ波加熱による急速結晶化

Author (6)： WANG X. W. (Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN) ,  WANG X. W. (Henan Normal Univ., Xinxiang, CHN) ,  WANG Z. J. (Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN) ,  ZHU M. W. (Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN) ,  ZHANG Y. Q. (Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN) ,  ZHANG Z. D. (Inst. Metal Res., Chinese Acad. Sci., Shenyang, CHN)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 8409  Issue： Pt.2  Page： 84091R.1-84091R.8  Publication year： 2012 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microwave heating ,  *ferroelectrics ,  *dielectric thin film ,  *lead zirconate titanate ,  substrate(plate) ,  silicon ,  silicon dioxide ,  titanium ,  platinum ,  metallic thin film ,  *crystallization ,  X-ray diffraction ,  atomic force microscope ,  electron microscopy ,  perovskite type crystal

JST classification (1)： Crystal growth of oxides  (BK13050I)

Terms in the title (4)： ジルコン酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  マイクロ波加熱 ,  結晶化