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J-GLOBAL ID：201202237642736873   Reference number：12A0611231

微小物体を対象とした非接触超音波支持の作用力特性-第1報 作用力測定機構の製作及び作用力特性の取得-

Author (6)： CHINO SHOTA (埼玉大 大学院) ,  KATO YASUHIRO (埼玉大 大学院) ,  KATO YASUHIRO (富士ゼロックス) ,  ISHINO YUJI (埼玉大 大学院) ,  TAKASAKI MASAYA (埼玉大 大学院) ,  MIZUNO TAKESHI (埼玉大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 78  Issue： 4  Page： 332-337  Publication year： Apr. 05, 2012 
JST Material Number： F0268C  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,  substrate(plate) ,  *ultrasonic vibration ,  *measurement ,  vibrator ,  *measurement system ,  *ultrasonic application ,  servomechanism ,  size effect ,  transfer system ,  sound pressure
Semi thesaurus term： glass substrate ,  vibrating characteristic ,  ultrasonic vibrator ,  *non-contact transportation ,  *force measurement

JST classification (3)： Propagation of vibrations  (BB02040K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Reference (5)：

• 1) 小池義和ほか, “近距離場音波浮揚を用いた搬送技術”, 日本機械学会論文集 111, 1074 (2008) 420.
• 2) 鎌倉友男ほか, “ピストン音源の近距離場に置かれた平面物体に働く音響放射力”, 日本音響学会誌 56, 12 (2000) 805.
• 3) 寺田大輔ほか, “微小物体を対象とした非接触超音波支持機構の基本特性の評価”, 第20回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム, (2008) 99.
• 4) 山崎智春ほか,“近距離場音波浮揚における位置保持力に関する研究”,電気情報通信学会技術研究報告 102, 67 (2007) 35.
• 5) M. Takasaki, et al., Resonance Frequency Tracing System for Langevin Ultrasonic Transducers, IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, (2007) 3817.

Terms in the title (7)： 微小 ,  物体 ,  非接触 ,  超音波 ,  支持 ,  力測定 ,  製作