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J-GLOBAL ID：201202238701171520   Reference number：12A1754309

Study on Resist Removal Using Electrolyzed Sulfuric Acid Solution in Comparison with SPM

SPMとの比較における電解硫酸溶液を用いたレジスト除去に関する研究

Author (6)： NAGAI Tatsuo (Kurita Water Ind., LTD, JPN) ,  YAMAKAWA Haruyoshi (Kurita Water Ind., LTD, JPN) ,  UCHIDA Minoru (Kurita Water Ind., LTD, JPN) ,  OHTSU Toru (Kurita Water Ind., LTD, JPN) ,  IKEMIYA Norihito (Kurita Water Ind., LTD, JPN) ,  MORITA Hiroshi (Kurita Water Ind., LTD, JPN)
Material： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffus Defect Data Part B)
Volume： 187  Page： 109-112  Publication year： 2012 
JST Material Number： T0583A  ISSN： 1012-0394  Document type： Article
Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： SPM ,  電解 ,  硫酸溶液 ,  レジスト ,  研究