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J-GLOBAL ID：201202240549441104   Reference number：12A0599587

The Problem and the Improvement on X-Ray Reflectivity Analysis

X線反射率解析における問題点とその改良

Author (1)： FUJII YOSHIKAZU (神戸大 研究基盤セ)
Material： X線分析の進歩  (X線工業分析)
Volume： 43  Page： 103-126  Publication year： Mar. 31, 2012 
JST Material Number： Z0547B  ISSN： 0911-7806  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *reflectivity ,  *surface layer structure ,  *depth analysis ,  thin film ,  multilayer film ,  surface roughness ,  *surface quality ,  formula ,  effect ,  approximation method
Semi thesaurus term： *X-ray reflectivity ,  fitting (approximation) ,  interface roughness ,  interference effect ,  *depth analysis ,  *surface layer structure ,  theoretical formula

JST classification (3)： X-ray diffraction methods  (BK01020I) ,  Surface structure of solids in general  (BK15010E) ,  Other phsical analysis  (CC03014E)

Reference (31)：

• 1) W.C. Marra, P. Eisenberger, A.Y. Cho: J. Appl. Phys., 50, 6927 (1979).
• 2) I.K. Robinson: Phys. Rev. B, 33, 3830 (1986).
• 3) Y. Fujii, K. Yoshida, T. Nakamura, K. Yoshida: Rev. Sci. Instrum., 68, 1975 (1997).
• 4) V. Holy, U. Pietsch, T. Baumbach:“High-Resolution X-Ray Scattering from Thin Films and Multilayers”, (1999), (Springer, Berlin).
• 5) J. Daillant, A. Gibaud:“X-ray and Neutron Reflectivity, Principles and Applications”, (1999), (Springer, Berlin).

Terms in the title (3)： X線反射率 ,  解析 ,  問題点