Art

J-GLOBAL ID：201202246973540269   Reference number：12A1738249

シリコンスラッジのリサイクル技術の開発-β-SiAlONへの適用-

Author (3)： INAGAKI JUN'ICHI (三重県工研) ,  SAKANISHI KOJI (安永) ,  YAMAOKA TAKASHI (安永)
Material： 三重県工業研究所研究報告  (Reports of the Mie Prefecture Industrial Research Institute)
Issue： 36  Page： 115-117  Publication year： Nov. 06, 2012 
JST Material Number： Z0229B  ISSN： 2185-016X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon ,  *sludge waste ,  solar cell ,  wafer ,  segmentation ,  *SIALON ,  *resource recycling ,  silicon nitride ,  alumina ,  manufacturing cost ,  cost reduction ,  removal ,  impurity ,  fine particle ,  densification ,  sludge waste ,  *beta-SIALON ,  impurity removal ,  reduction ,  variation
Semi thesaurus term： *silicon ,  segmentation ,  *material recycling

JST classification (4)： Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G) ,  Nitrogen and its compounds  (YB02050S) ,  Recycling of resources  (SC05060V) ,  Sludge treatment and disposal  (SC05050K)

Terms in the title (5)： シリコン ,  スラッジ ,  リサイクル ,  開発 ,  β-SIALON