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J-GLOBAL ID：201202247760122362   Reference number：12A0379192

Single-Grain Si TFTs using Spin-Coated Liquid-Silicon

スピン被覆液体シリコンを用いた単一結晶粒Si TFT

Author (7)： ZHANG Jin (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  ISHIHARA Ryoichi (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  TAGAGISHI Hideyuki (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  KAWAJIRI Ryo (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  SHIMODA Tatsuya (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  SHIMODA Tatsuya (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol. (JAST), Ishikawa, JPN) ,  BEENAKKER C. I. M. (Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
Material： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (IEEE International Electron Devices Meeting)
Volume： 2011  Page： 339-342  Publication year： 2011 
JST Material Number： C0829B  ISSN： 0163-1918  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,  *thin film transistor ,  *spin coating ,  *amorphous silicon ,  organic material ,  laser material ,  *crystal grain ,  semiconductor thin film ,  TOF ,  secondary ion mass spectrometry ,  optical microscopy ,  position control ,  carrier mobility ,  VLSI ,  liquefied silicon ,  laser crystal
Semi thesaurus term： ULSI

JST classification (1)： Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (5)： スピン被覆 ,  シリコン ,  結晶粒 ,  Si ,  TFT