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J-GLOBAL ID：201202274049360916   Reference number：12A0601998

分子プレカーサー法による酸化亜鉛導電膜の形成

Author (7)： NAGAI HIROKI (工学院大) ,  TAKANO SOICHIRO (工学院大) ,  HARA HIROKI (工学院大) ,  MOCHIZUKI CHIHIRO (工学院大) ,  TAKANO ICHIRO (工学院大) ,  HONDA TOORU (工学院大) ,  SATO MITSUNOBU (工学院大)
Material： 日本セラミックス協会年会講演予稿集
Volume： 2012  Page： 8  Publication year： Mar. 19, 2012 
JST Material Number： X0505A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zinc oxide ,  *transparent conducting thin films ,  zinc complex ,  *precursor(substance) ,  spin coating ,  micro structure ,  crystal grain size(diameter) ,  *electrical conductivity ,  *transmissivity ,  aliphatic amine ,  aliphatic carboxylic acid ,  aminocarboxylic acid ,  diamine ,  primary amine
Semi thesaurus term： *light transmittance

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Other solid-state devices  (NC03150A)

Substance index (3)： EDTA ,  Diformic acid zinc salt ,  Propylamine

Terms in the title (4)： 分子 ,  プレカーサー ,  酸化亜鉛 ,  導電膜