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J-GLOBAL ID：201202284263029696   Reference number：12A0602650

計算科学手法によるCaZrO₃砥粒の化学機械研磨特性の解明

Author (6)： OZAWA NOBUKI (東北大 大学院工学研究科) ,  NAKAMURA MIHO (東北大 大学院工学研究科) ,  KAWAGUCHI KENTARO (東北大 大学院工学研究科) ,  ISHIKAWA MUNEYUKI (東北大 大学院工学研究科) ,  HIGUCHI YUJI (東北大 大学院工学研究科) ,  KUBO MOMOJI (東北大 大学院工学研究科)
Material： 日本セラミックス協会年会講演予稿集
Volume： 2012  Page： 335  Publication year： Mar. 19, 2012 
JST Material Number： X0505A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zirconate ,  *calcium compound ,  *abrasive grain ,  *chemical polishing ,  computer application ,  ab initio method ,  surface structure ,  electronic state ,  perovskite type crystal ,  laminate structure ,  *chemical mechanical polishing
Semi thesaurus term： zirconate ,  *computational science ,  *first principles calculation ,  perovskite structure

JST classification (1)： Grinding and abrasion materials  (YC06020Q)

Terms in the title (4)： 計算科学 ,  手法 ,  砥粒 ,  研磨特性