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J-GLOBAL ID：201202284767674886   Reference number：12A1088695

Mass spectrometry diagnosis of ion species in low-pressure plasmas

低圧プラズマにおけるイオン種の質量分析診断

Author (6)： LUCENA-POLONIO M V (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  DIAZ-CABRERA J M (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  PALOP J I Fernandez (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  CRESPO R Morales (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  HERNANDEZ M A (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  BALLESTEROS J (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP)
Material： Plasma Physics and Controlled Fusion  (Plasma Phys Control Fusion)
Volume： 53  Issue： 12,Pt.2  Page： 124024.1-124024.10  Publication year： Dec. 2011 
JST Material Number： D0471A  ISSN： 0741-3335  CODEN： PLPHBZ  Document type： Article
Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： 低圧 ,  プラズマ ,  イオン種 ,  質量分析 ,  診断