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J-GLOBAL ID：201202285478741113   Reference number：12A1236048

Growth of Spin Coating ZnO Films using Diethylzinc Solution

スピンコート法による酸化亜鉛薄膜作製

Author (4)： OSHIMA MINORU (宮崎大 工) ,  SHINMIYA MASATO (宮崎大 工) ,  YOSHINO KENJI (宮崎大 工) ,  IKARI TETSUO (宮崎大 工)
Material： Memoirs of the Faculty of Engineering, University of Miyazaki  (宮崎大学工学部紀要)
Issue： 41  Page： 123-127  Publication year： Jul. 30, 2012 
JST Material Number： G0471A  ISSN： 0540-4924  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor thin film ,  *transparent conducting thin films ,  zinc oxide ,  spin coating ,  film production ,  orientation (direction) ,  spectrum ,  firing (heat treatment) ,  time dependence ,  sheet resistance ,  transmission spectrum
Semi thesaurus term： orientation

JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (3)： スピンコート ,  酸化亜鉛薄膜 ,  作製