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J-GLOBAL ID：201202290438954908   Reference number：12A0591374

Development of a micromachining system for irradiation with narrow band soft X-ray at high power density and micromachining of silicone rubber

高パワー密度狭帯域軟X線加工装置の開発とシリコーンゴムの微細加工

Author (8)： TORII SHUICHI (筑波大 大学院) ,  MAKIMURA TETSUYA (筑波大 大学院) ,  MURAKAMI KOICHI (筑波大 大学院) ,  OKAZAKI KOTA (九大) ,  NAKAMURA DAISUKE (九大) ,  OKADA TATSUO (九大) ,  TAKAHASHI AKIHIKO (九大 医学研究院) ,  NIINO HIROYUKI (産業技術総合研)
Material： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
Volume： OQD-12  Issue： 1-11  Page： 5-8  Publication year： Mar. 09, 2012 
JST Material Number： Z0922A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： narrow band ,  *soft X-ray ,  *silicone rubber ,  *ablation ,  *micromachining ,  aspect ratio ,  surface quality ,  *laser-produced plasma ,  *X-ray irradiation ,  polydimethylsiloxane ,  energy density ,  molecular structure ,  *plasma

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• (1) D. Figeys, and D. Pinto : "Lab-on-a-Chip: A Revolution in Biological and Medical Sciences.", Anal. Chem. Vol. 72, No. 9, p. 330A (2000).
• (2) T. Yamamoto, T. Nojimab and T. Fujii "PDMS-glass hybrid microreactor array with embedded temperature control device. Application to cell-free protein synthesis", Lab Chip. Vol. 2, p. 197 (2002).
• (3) K. Takahashi, K. Orita, K. Matsumura, and K. Yasuda "On-Chip Microcultivation Chamber for Swimming Cells Using Visualized Poly(dimethylsiloxane) Valves", Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 42, No. 9A, p. 1104, (2003).
• (4) W. Zheng, Z. Wang, W. Zhang and X. Jiang : A simple PDMS-based microfluidic channel design that removes bubbles for long-term on-chip culture of mammalian cells", Lab Chip. Vol. 10, p. 2906, (2010).
• (5) K Hosokawa, T Fujii, and I Endo : "Handling of Picoliter Liquid Samples in a Poly(dimethylsiloxane)-Based Microfluidic Device", Anal. Chem. Vol. 71, No. 20, p. 471 (1999).

Terms in the title (7)： パワー密度 ,  狭帯域 ,  軟X線 ,  加工装置 ,  開発 ,  シリコーンゴム ,  微細加工