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J-GLOBAL ID：201203001370897090

シート貼付装置及び貼付方法

Inventor： 高野 健
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (1)： 山口 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010177005
Publication number (International publication number)：2012038880
Application date： Aug. 06, 2010
Publication date： Feb. 23, 2012
Summary：

【課題】リングフレームに貼付された接着シートに弛みが生じていても、この弛みが被着体との接着面内に位置して皺となることを防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供すること。【解決手段】被着体Wを支持するテーブル11を収容するとともに内部に減圧室Cを形成する第1ケース13及び第2ケース12と、リングフレームRFを支持し、当該リングフレームの開放部を閉塞する接着シートSを被着体に臨ませる支持手段15と、接着シートSを被着体Wに押圧する押圧手段20、P2とを含み、減圧室Cの減圧下で接着シートSを被着体Wに貼付するように構成されている。支持手段15は、リングフレームRFを支持するフレーム支持部35と、当該リングフレームRFより内側であって被着体Wより外側の接着シートS部分を支持するシート支持部36とを含む。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する第1ケース及び第2ケースと、接着シートによって開口部が閉塞されたリングフレームを支持するとともに、当該接着シートを被着体に臨む位置に支持する支持手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含み、前記減圧室を形成して減圧下で前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、 前記支持手段は、前記リングフレームを支持するフレーム支持部と、当該リングフレームより内側であって前記被着体より外側の接着シート部分を支持するシート支持部とを有することを特徴とするシート貼付装置。

IPC (2)：

H01L 21/683 ,  C09J 5/00

FI (2)：

H01L21/68 N ,  C09J5/00

F-Term (11)：

4J040JA09 ,  4J040NA20 ,  4J040PB08 ,  4J040PB17 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031HA58 ,  5F031HA78 ,  5F031LA08 ,  5F031MA37 ,  5F031NA05