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J-GLOBAL ID：201203001949622247
ガス濃度測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
特許業務法人京都国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010167769
Publication number (International publication number)：2012026949
Application date： Jul. 27, 2010
Publication date： Feb. 09, 2012
Summary：
【課題】TDLAS測定法を用いたガス濃度測定装置において、鋸歯状の波長掃引の波長切替え時にデジタル方式の位相敏感検波の出力に現れる高周波のノイズを抑制することで目的成分の吸収によるピーク波形の歪みを防止する。【解決手段】成分検出のための所定周波数の変調電流と波長掃引のための鋸歯状の駆動電流とを重畳して第1LD1に注入する一方、第2LD5には上記鋸歯状の波形と同期し波長増減方向が逆である逆鋸歯状の駆動電流を注入する。LD1、5からそれぞれ出射したレーザ光はNDフィルタ3、7で減光(光量調整)され、ハーフミラー4により混合されて測定セル9に照射される。被測定ガス中の目的成分に特有の波長で吸収を受けた光が光検出器10により検出される。2系統のレーザ光における波長掃引に伴う光量変化は相殺されるため、光検出器10の出力では波長切替え時の段差が緩和され、その結果、位相敏感検波における高周波ノイズの発生も軽減される。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
波長可変半導体レーザ吸収分光測定法により被測定ガス中の特定成分の濃度を測定するガス濃度測定装置であって、
a)複数のレーザ光源と、
b)前記複数のレーザ光源の中の1つである波長可変型の第1レーザ光源の発振波長を所定の変調周波数で変調するとともに目的成分の吸収波長を含む所定波長範囲を所定波形形状で繰り返し掃引するように該第1レーザ光源に駆動電流を供給する一方、前記複数のレーザ光源の中の他の少なくとも1つのレーザ光源の発光光量が、前記所定波形形状の波長掃引と同期し且つ該波長掃引に伴う発光光量の変化とは増減方向が逆である逆波形形状で繰り返し変化するように該他の少なくとも1つのレーザ光源に駆動電流を供給するレーザ駆動制御手段と、
c)少なくとも前記第1レーザ光源から発せられたレーザ光が照射される被測定ガスが収容された測定セルと、
d)前記複数のレーザ光源からそれぞれ発せられ前記測定セルに照射されるレーザ光を混合させる、又は、前記複数のレーザ光源からそれぞれ発せられ前記測定セルを通過した後のレーザ光と該測定セルを通過していないレーザ光とを混合させる光混合手段と、
e)前記複数のレーザ光源からそれぞれ発せられた複数のレーザ光の中で少なくとも一部が前記測定セルを通過し、且つ前記光混合手段で混合された状態のレーザ光を受光する光検出手段と、
f)前記光検出手段により得られた検出信号から前記変調周波数の成分又は該変調周波数の高調波成分を位相敏感検波により抽出する復調手段と、
を備え、前記所定波形形状の波長掃引に伴う発光光量の変化及び前記逆波形形状の発光光量の変化が、前記光混合手段によるレーザ光の混合及び前記光検出手段による受光の段階で相殺されることで、前記光検出手段の出力段において波長掃引に対応した出力変化が平滑化されるようにしたことを特徴とするガス濃度測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (10)：
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC04
, 2G059EE01
, 2G059GG01
, 2G059GG06
, 2G059HH01
, 2G059JJ22
, 2G059JJ25
, 2G059KK01
