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J-GLOBAL ID：201203018298396987

シリコン再生方法

Inventor： 北條 義之 ,  梶本 公彦 ,  芝池 明彦
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (5)： 野河 信太郎 ,  秋山 雅則 ,  甲斐 伸二 ,  金子 裕輔 ,  稲本 潔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010159624
Publication number (International publication number)：2012020364
Application date： Jul. 14, 2010
Publication date： Feb. 02, 2012
Summary：

【課題】リン濃度が十分に低減された再生シリコンを得ることができるシリコン再生方法を提供する。【解決手段】本発明のシリコン再生方法は、シリコンブロックを切断しその際副生したシリコン屑より、特別の脱リン処理をすることなく、太陽電池用原料として利用可能なリン濃度を有する再生シリコンを得るシリコン再生方法であって、シリコンブロックをダミー材に接着剤を用いて接着させた状態で、表面に砥粒を固着したワイヤーとクーラントとを用いて、シリコンブロックとダミー材の一部を切断してシリコンウエハを得、その際副生したシリコン屑を含む廃スラリーからシリコン屑含有固形分を回収する工程と、回収した固形分を第1洗浄液とそれと異なる第2洗浄液とで洗浄する工程と、洗浄した固形分を熔融して熔融シリコンを得る工程と、熔融シリコンを凝固する工程とを含み、ダミー材は、第1洗浄液に易溶性を有し、接着剤は、第2洗浄液に易溶性を有することを特徴とする。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

シリコンブロックを切断しその際副生したシリコン屑より、真空溶解法または電子ビーム法のごとき特別の脱リン処理をすることなく、太陽電池用原料として利用可能なリン濃度を有する再生シリコンを得るシリコン再生方法であって、 前記シリコンブロックをダミー材に接着剤を用いて接着させた状態で、表面に砥粒を固着したワイヤーとクーラントとを用いて、前記シリコンブロックとダミー材の一部を切断してシリコンウエハを得、その際副生したシリコン屑を含む廃スラリーからシリコン屑含有固形分を回収する工程と、 回収した固形分を第1洗浄液とそれと異なる第2洗浄液とで洗浄する工程と、 洗浄した固形分を熔融して熔融シリコンを得る工程と、 熔融シリコンを凝固する工程とを含み、 前記ダミー材は、第1洗浄液に易溶性を有し、前記接着剤は、第2洗浄液に易溶性を有することを特徴とするシリコン再生方法。

IPC (3)：

B24B 55/12 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/304

FI (4)：

B24B55/12 ,  B24B27/06 H ,  H01L21/304 611W ,  H01L21/304 622E

F-Term (13)：

3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CA05 ,  3C058DA03 ,  5F057AA43 ,  5F057BA01 ,  5F057BB03 ,  5F057CA02 ,  5F057DA15 ,  5F057EB24 ,  5F057FA44