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J-GLOBAL ID:201203024478248137

静電変換装置および静電変換装置の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 山川 政樹 ,  山川 茂樹 ,  小池 勇三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010239774
Publication number (International publication number):2012095422
Application date: Oct. 26, 2010
Publication date: May. 17, 2012
Summary:
【課題】発電効率を向上させることができる静電変換装置および静電変換装置の製造方法を提供する。【解決手段】第1の固定電極17および第2の固定電極18を幅広部15bの表面に形成された絶縁帯電体16の軌道に並設することにより、半導体基板11に垂直な面内で絶縁帯電体16と第1の固定電極17および第2の固定電極18が対向することになる。したがって、半導体基板11の面積の制約を受けずに、絶縁帯電体16と第1の固定電極17および第2の固定電極18との重なり面積を設定することができ、発電効率を向上させることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板と、 この基板の上方に設けられ、この基板の平面に対して平行な第1の方向に移動可能に支持された可動部材と、 一端が前記可動部材に接続され、前記第1の方向に延在する腕部材と、 この腕部材の他端に設けられた第1の帯電体と、 前記基板上に垂設され、前記第1の帯電体の移動軌跡から前記平面に平行でかつ前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に所定距離離間して設けられた第1の固定電極と、 前記基板上に垂設され、前記第1の方向に沿って前記第1の固定電極と並設された第2の固定電極と を備えることを特徴とする静電変換装置。
IPC (1):
H02N 1/00
FI (1):
H02N1/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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