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J-GLOBAL ID:201203025651737064
グラフェン導電膜の製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (4):
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011190460
Publication number (International publication number):2012246212
Application date: Sep. 01, 2011
Publication date: Dec. 13, 2012
Summary:
【課題】本発明は、グラフェン導電膜の製造方法に関するものである。【解決手段】本発明のグラフェン導電膜の製造方法は、第一表面及び該第一表面に対向する第二表面を有する金属基材を提供する第一ステップと、前記金属基材の第一表面にグラフェン構造体を成長させる第二ステップと、エッチングによって、前記金属基材をパターニングして電極を形成させる第三ステップと、を含む。【選択図】図1
Claim (excerpt):
第一表面及び該第一表面に対向する第二表面を有する金属基材を提供する第一ステップと、
前記金属基材の第一表面にグラフェン構造体を成長させる第二ステップと、
エッチングによって、前記金属基材をパターニングして複数の電極を形成させる第三ステップと、
を含むことを特徴とするグラフェン導電膜の製造方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (17):
4G146AA01
, 4G146AB07
, 4G146AC25B
, 4G146AC30B
, 4G146AD22
, 4G146AD23
, 4G146AD28
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC25
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146BC34B
, 4G146BC37B
, 4G146BC38B
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