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J-GLOBAL ID：201203030363658340

イオン源

Inventor： 志水 隆一 ,  細川 好則 ,  松谷 貴臣
Applicant, Patent owner： 株式会社エックスレイプレシジョン
Agent (1)： 渡辺 三彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010267275
Publication number (International publication number)：2012119142
Application date： Nov. 30, 2010
Publication date： Jun. 21, 2012
Summary：

【課題】 安全かつ長寿命であるイオン源を提供する。【解決手段】 イオン源1は、円形薄板又は芯線からなるアノード電極2と、その一端3aと他端3bとの間に円環形状又は円筒形状に形成された本体部3cを有し、該本体部3cの中心軸上にアノード電極2を位置させるカソード電極3と、該カソード電極3の一端と他端との間に電源供給して加熱する加熱電源4と、アノード電極2の電位がカソード電極3の電位より高くなるように、アノード電極2とカソード電極3との間に電圧を印加する主電源5と、を備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

円形薄板又は芯線からなるアノード電極と、 その一端と他端との間に円環形状又は円筒形状に形成された本体部を有し、該本体部の中心軸上に前記アノード電極を位置させるカソード電極と、 該カソード電極の一端と他端との間に電流を流して加熱する加熱電源と、 前記アノード電極の電位が前記カソード電極の電位より高くなるように、前記アノード電極と前記カソード電極との間に電圧を印加する主電源と、を備えることを特徴とするイオン源。

IPC (1)：

H01J 49/10

FI (1)：

H01J49/10

F-Term (4)：

5C038GG01 ,  5C038GG07 ,  5C038GH09 ,  5C038GH11