Pat

J-GLOBAL ID：201203030521560786

電気機械変換素子の駆動装置、モータ装置、及びロボット装置

Inventor： 牧野内 進
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (3)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011052848
Publication number (International publication number)：2012191743
Application date： Mar. 10, 2011
Publication date： Oct. 04, 2012
Summary：

【課題】駆動精度を向上させる。【解決手段】電気機械変換素子の駆動装置は、電気機械変換素子に駆動電圧を供給するための電流を、制御信号に基づいて制御する駆動回路部と、電気機械変換素子の駆動電圧を検出する検出部と、駆動電圧の供給を制御する駆動制御信号を駆動回路部に出力する駆動処理、及び、駆動電圧を検出して得られた検出電圧に基づいて駆動電圧を目標電圧に補正する補正制御信号を駆動回路部に出力する補正処理、を実行する制御部と、を備え、制御信号は、少なくとも駆動制御信号及び補正制御信号を含む。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電気機械変換素子に駆動電圧を供給するための電流を、制御信号に基づいて制御する駆動回路部と、 前記電気機械変換素子の駆動電圧を検出する検出部と、 前記駆動電圧の供給を制御する駆動制御信号を前記駆動回路部に出力する駆動処理、及び、前記駆動電圧を検出して得られた検出電圧に基づいて前記駆動電圧を目標電圧に補正する補正制御信号を前記駆動回路部に出力する補正処理、を実行する制御部と、を備え、 前記制御信号は、少なくとも前記駆動制御信号及び前記補正制御信号を含む ことを特徴とする電気機械変換素子の駆動装置。

IPC (2)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/09

FI (6)：

H02N2/00 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 K ,  H01L41/08 U ,  H02N2/00 B

F-Term (6)：

5H680BB01 ,  5H680DD11 ,  5H680DD23 ,  5H680FF21 ,  5H680FF30 ,  5H680FF38