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J-GLOBAL ID：201203032680585288
基板検査システム、表示装置及び表示方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大菅 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011003612
Publication number (International publication number)：2012145427
Application date： Jan. 12, 2011
Publication date： Aug. 02, 2012
Summary：
【課題】目視検査の検査者の作業効率を向上させることのできる技術を提供する。【解決手段】記憶部41は、自動欠陥検査装置2により欠陥の検出された基板の画像と、欠陥に係わる情報を示す欠陥情報とを、基板を識別する基板IDと対応付けて記憶する。欠陥表示装置4は、目視検査装置3において目視検査を行う基板の基板IDに基づいて自動欠陥検査装置2で取得された画像及び欠陥情報を記憶部41から読み出して、画像に対して欠陥部分を強調表示する。モニタ14は、欠陥表示装置4で強調処理された基板の画像を表示する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
基板の画像を取得し前記基板上の欠陥を自動的に検査する自動欠陥検査装置と、
前記自動欠陥検査装置で検査された前記基板を目視検査する目視検査装置と、
前記自動欠陥検査装置において検査された前記基板の画像と、該欠陥に係わる情報を示す欠陥情報とを、該基板を識別する基板識別情報と対応付けて記憶する記憶部と、
前記目視検査装置において目視検査を行う基板の基板識別情報に基づいて前記自動欠陥検査装置で取得された前記画像及び前記欠陥情報を前記記憶部から読み出し、該画像に対して欠陥部分を強調表示する欠陥表示装置と、
前記目視検査装置の観察用窓枠の近傍に配置され、前記欠陥表示装置で強調処理された前記基板の画像を表示するモニタと、
を備えることを特徴とする基板検査システム。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
2G051AA42
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051CA11
, 2G051FA03
