樹脂パターンの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：正林真之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010141773
Publication number (International publication number)：2012008205
Application date： Jun. 22, 2010
Publication date： Jan. 12, 2012
Summary：

【課題】高さの異なる樹脂パターンを同時かつ効率的に製造する方法を提供する。【解決手段】樹脂パターンの製造方法は、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、及び光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む。特に光重合開始剤(C)は、下記一般式(c-1)で表される化合物を含有する。(式中、R1c,R2cはそれぞれ独立に一価の有機基を示し、R3cはハロゲン原子又は一価の有機基を示し、nは0〜4の整数を示す。)【選択図】なし

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、及び光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、前記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含み、前記光重合開始剤(C)が下記一般式(c-1)で表される化合物を含有する樹脂パターンの製造方法。

IPC (3)：

G03F 7/031 , G03F 7/033 , C08F 2/48

FI (3)：

G03F7/031 , G03F7/033 , C08F2/48

F-Term (41)：

2H125AC36 , 2H125AD02 , 2H125AD06 , 2H125AD10 , 2H125AD14 , 2H125AE12P , 2H125AN24P , 2H125AN29P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125AN59P , 2H125AP03P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA11P , 2H125BA16P , 2H125BA22P , 2H125CA22 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H189DA07 , 2H189DA43 , 2H189FA05 , 2H189FA16 , 2H189HA14 , 2H189LA10 , 4J011AC04 , 4J011PA69 , 4J011PA86 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA23 , 4J011RA03 , 4J011RA10 , 4J011RA14 , 4J011SA78 , 4J011TA07 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサーとその製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-143083 Applicant：JSR株式会社
ネガ型レジスト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-265441 Applicant：積水化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物、それから形成された突起およびスペーサー、ならびにそれらを具備する液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-078802 Applicant：JSR株式会社

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