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J-GLOBAL ID:201203051105991236

熱電変換素子の製造装置および製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鷲田 公一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012030905
Publication number (International publication number):2012231121
Application date: Feb. 15, 2012
Publication date: Nov. 22, 2012
Summary:
【課題】、熱電変換素子の高密度配列と接続信頼性の確保を容易に実現できる熱電変換素子の製造装置を提供する。【解決手段】本発明は、熱電変換素子の製造装置および製造方法に関する。耐熱性絶縁材製の管102の内部に、p型或いはn型の熱電変換材料を吸い上げて充填する熱電変換素子の製造装置であって、溶融した熱電変換素子を吸い上げる前に、管102を所定の温度に加熱することができる予備加熱装置205を有する。予備加熱装置205で加熱されて温度条件が調整された管102が坩堝204中に挿入され、この管102の内部へ、溶融した熱電変換材料が減圧装置201によって吸い上げられる。【選択図】図2
Claim (excerpt):
溶融した熱電変換材料を貯蔵可能な坩堝と、 前記坩堝の外周に配置され、前記坩堝中の熱電変換材料を加熱する加熱装置と、 前記坩堝の上方に配置され、前記坩堝の内部と外部とを連通する通路を備えると共に、前記加熱装置とは異なる加熱源を有し、前記通路に挿入された、耐熱性絶縁材からなる管を加熱する予備加熱装置と、 前記管の一端と接続される減圧装置と、 を有する熱電変換素子の製造装置。
IPC (1):
H01L 35/34
FI (1):
H01L35/34

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