Pat

J-GLOBAL ID：201203054550190404

基材表面性状の検知方法及び基材表面性状の検知装置

Inventor： 由井 宏治 ,  好野 則夫 ,  谷口 淳 ,  大迫 信二
Applicant, Patent owner： 学校法人東京理科大学 ,  株式会社ハーベス
Agent (3)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011048576
Publication number (International publication number)：2012185045
Application date： Mar. 07, 2011
Publication date： Sep. 27, 2012
Summary：

【課題】基材上に設けられたシラノール基を有する化合物の結合状態を、非破壊かつ非接触にて簡易に検知する基材表面性状の検知方法及び検知装置を提供する。【解決手段】シラノール基を有する化合物が付与された基材の化合物付与面に平行偏光又は垂直偏光のいずれかを選択して光を入射し、前記基材から出射した光より平行偏光と垂直偏光とを検出し、検出された各偏光を100cm-1〜1800cm-1の範囲で分光分析して得られる振動スペクトルから、基材上に付与された前記化合物中の構造部分のピークを分離することにより、前記基材上に存在する前記化合物の結合状態を検知する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

シラノール基を有する化合物が付与された基材の化合物付与面に平行偏光又は垂直偏光のいずれかを選択して光を入射し、前記基材から出射した光より平行偏光と垂直偏光とを検出し、検出された各偏光を100cm-1〜1800cm-1の範囲で分光分析して得られる振動スペクトルから、基材上に付与された前記化合物中の構造部分のピークを分離することにより、前記基材上に存在する前記化合物の結合状態を検知する、基材表面性状の検知方法。

IPC (2)：

G01N 21/35 ,  G01N 21/65

FI (2)：

G01N21/35 Z ,  G01N21/65

F-Term (20)：

2G043AA03 ,  2G043BA14 ,  2G043CA07 ,  2G043DA06 ,  2G043EA03 ,  2G043KA01 ,  2G043KA05 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03 ,  2G043NA01 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10