感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、低屈折率膜、光学デバイス、及び、固体撮像素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：高松猛 , 矢澤清純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010150639
Publication number (International publication number)：2012013962
Application date： Jun. 30, 2010
Publication date： Jan. 19, 2012
Summary：

【課題】適正感度が高く、屈折率が低くかつ、現像後のパターンの欠けや残渣が少なく、高温高湿下での屈折率変化が小さく、耐候性に優れた性能を示すパターンを形成可能な感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、低屈折率膜、光学デバイス、及び、固体撮像素子を提供する。【解決手段】(A)中空又は多孔質粒子と、(B)活性光線又は放射線の照射により活性種を発生する化合物と、下記の樹脂(C1)又は混合樹脂(C2)とを含有する感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、低屈折率膜、光学デバイス、及び、固体撮像素子。 (C1)珪素原子又はフッ素原子を側鎖に含有し、前記活性種の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂 (C2)珪素原子又はフッ素原子を側鎖に含有する樹脂(C2-1)と、前記活性種の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂(C2-2)とを含有する混合樹脂【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(A)中空又は多孔質粒子と、 (B)活性光線又は放射線の照射により活性種を発生する化合物と、下記の樹脂(C1)又は混合樹脂(C2)とを含有する感光性組成物。 (C1)珪素原子又はフッ素原子を側鎖に含有し、前記活性種の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂 (C2)珪素原子又はフッ素原子を側鎖に含有する樹脂(C2-1)と、前記活性種の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂(C2-2)とを含有する混合樹脂

IPC (6)：

G03F 7/075 , G03F 7/004 , G02B 1/11 , C08F 30/08 , C08F 14/18 , G03F 7/038

FI (6)：

G03F7/075 511 , G03F7/004 501 , G02B1/10 A , C08F30/08 , C08F14/18 , G03F7/038 501

F-Term (49)：

2H125AC03 , 2H125AC10 , 2H125AC35 , 2H125AC36 , 2H125AC43 , 2H125AC44 , 2H125AC45 , 2H125AC46 , 2H125AC72 , 2H125AC78 , 2H125AC79 , 2H125AD02 , 2H125AD06 , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM32P , 2H125AN39P , 2H125AN46P , 2H125AP11P , 2H125BA01P , 2H125CA15 , 2H125CB06 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD01P , 2H125CD06P , 2H125CD21P , 2H125CD34 , 2H125CD40 , 2K009CC09 , 2K009CC26 , 2K009CC42 , 4J100AJ02R , 4J100AL08P , 4J100AL66Q , 4J100AL79Q , 4J100BA02P , 4J100BA04Q , 4J100BA15Q , 4J100BA16R , 4J100BA38Q , 4J100BA72P , 4J100BA81P , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA29 , 4J100DA31 , 4J100DA63 , 4J100JA38

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