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J-GLOBAL ID：201203060637705958

微小物体捕集装置、微小物体量測定装置、微小物体捕集方法および微小物体量測定方法。

Inventor： 田中 優紀 ,  三上 謙一郎
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 平井 良憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010218022
Publication number (International publication number)：2012071256
Application date： Sep. 29, 2010
Publication date： Apr. 12, 2012
Summary：

【課題】検査液に含まれる微小物体を捕集するための微小物体捕集装置を、単純な構成によって提供する。【解決手段】捕集用電極に第1の周波数の交流電圧または第2の周波数の交流電圧を印加することにより前記微小物体を捕集する微小物体捕集部3と、前記微小物体捕集部に検査液を導入する検査液導入部1と、前記微小物体捕集部に分離用液体を導入する分離用液体導入部5とを備える。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

微小物体を含む検査液から前記微小物体を捕集する微小物体捕集装置であって、 捕集用電極に第1の周波数の交流電圧または第2の周波数の交流電圧を印加することにより前記微小物体を捕集する微小物体捕集部と、 前記微小物体捕集部に検査液を導入する検査液導入部と、 前記微小物体捕集部に分離用液体を導入する分離用液体導入部と、 を備える微小物体捕集装置。

IPC (2)：

B03C 5/02 ,  C12M 1/26

FI (2)：

B03C5/02 ,  C12M1/26

F-Term (14)：

4B029AA09 ,  4B029AA27 ,  4B029BB01 ,  4B029CC01 ,  4B029HA05 ,  4B029HA09 ,  4B029HA10 ,  4D054FA08 ,  4D054FB01 ,  4D054FB09 ,  4D054FB11 ,  4D054FB12 ,  4D054FB13 ,  4D054FB20