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J-GLOBAL ID:201203062922913672

パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びレジスト膜

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高松 猛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010286766
Publication number (International publication number):2012027436
Application date: Dec. 22, 2010
Publication date: Feb. 09, 2012
Summary:
【課題】ブリッジ前寸法等の解像力、ラインエッジラフネス等のラフネス性能、現像時間依存性に優れたパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜を提供する。【解決手段】(ア)活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、かつ酸の作用により分解し有機溶剤に対する溶解度が減少する化合物(A)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、(イ)該膜を露光する工程、及び(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程 を含む、パターン形成方法。【選択図】なし
Claim (excerpt):
(ア)活性光線又は放射線の照射により酸を発生し、かつ酸の作用により分解し有機溶剤に対する溶解度が減少する化合物(A)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、 (イ)該膜を露光する工程、及び (ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程 を含む、パターン形成方法。
IPC (6):
G03F 7/32 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/00
FI (7):
G03F7/32 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 569E ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/00
F-Term (89):
2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096EA05 ,  2H096GA04 ,  2H096GA18 ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF22P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ18X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM10P ,  2H125AM12P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM30P ,  2H125AM43P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN08P ,  2H125AN37P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN56P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN64P ,  2H125AN65P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA40P ,  4J100BC03R ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38 ,  5F046LA12

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