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J-GLOBAL ID：201203068955148384

光学顕微鏡、および光学計測

Inventor： 小関 泰之 ,  伊東 一良 ,  嶽 文宏 ,  福井 希一 ,  梶山 慎一郎 ,  北川 雄真 ,  西澤 典彦 ,  住村 和彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (3)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也 ,  平山 倫也
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2010059327
Publication number (International publication number)：WO2010140614
Application date： Jun. 02, 2010
Publication date： Dec. 09, 2010
Summary：

光源系の複雑化を抑え、レーザーの強度雑音の影響を低減するためなどに変調周波数を高くした場合にも容易に対応できる光学系を備えた光学顕微鏡を得ること。第1の光源により生成された第1の光周波数を有する第1の光パルス列と、前記第1の光パルス列と時間的に同期した、第2の光源により生成された第2の光周波数を有する第2の光パルス列とを試料6に照射し、前記試料6からの散乱光を検出する光学顕微鏡100であって、前記第1の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数が、前記第2の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数の整数分の一である。

Claim (excerpt)：

第1の光源により生成された第1の光周波数を有する第1の光パルス列と、 前記第1の光パルス列と時間的に同期した、第2の光源により生成された第2の光周波数を有する第2の光パルス列とを試料に照射し、 前記試料からの散乱光を検出する光学顕微鏡であって、 前記第1の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数が、前記第2の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数の整数分の一であることを特徴とする光学顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/06 ,  G01N 21/65 ,  G02B 21/36

FI (3)：

G02B21/06 ,  G01N21/65 ,  G02B21/36

F-Term (19)：

2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043EA03 ,  2G043FA02 ,  2G043GA06 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043JA03 ,  2G043KA01 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01 ,  2H052AC05 ,  2H052AC14 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14