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J-GLOBAL ID：201203070368213992

膜状塗布ノズル、塗布装置および塗布方法

Inventor： 生島 和正
Applicant, Patent owner： 武蔵エンジニアリング株式会社
Agent (2)： 須藤 阿佐子 ,  須藤 晃伸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011109047
Publication number (International publication number)：2012239930
Application date： May. 16, 2011
Publication date： Dec. 10, 2012
Summary：

【課題】 吐出口に連通する全ての流路からの流入量を均一にすることができ、塗布ギャップの影響を最小限とし、従来よりも精度良く膜状塗布を行う技術の提供。【解決手段】 分岐路構造を有する分岐ブロックと、長手方向に幅広に形成された吐出口を有する先端部材と、分岐路構造に連通する細管流入口および先端部材の吐出口に連通する細管流出口を有する細管を複数本設けてなる管部と、を備え、分岐ブロックは、流入口に連通する流路を分岐させる室からなる分岐部を複数段備え、同一段に設けられた分岐部で分岐された流路の流出口までの長さは等しく構成されており、先端部材は、吐出口を構成する溝部を有しており、吐出口の端面の短手方向の長さSが細管流出口の内径Dより長く構成されており、細管流出口が溝部の最奥面に略等間隔に配設されている膜状塗布ノズル。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

分岐路構造を有する分岐ブロックと、長手方向に幅広に形成された吐出口を有する先端部材と、前記分岐路構造に連通する細管流入口および前記先端部材の吐出口に連通する細管流出口を有する細管を複数本設けてなる管部と、を備える膜状塗布ノズルであって、 前記分岐ブロックは、流入口に連通する流路を分岐させる室からなる分岐部を複数段備え、同一段に設けられた分岐部で分岐された流路の流出口までの長さは等しく構成されており、 前記先端部材は、吐出口を構成する溝部を有しており、前記吐出口の端面の短手方向の長さSが前記細管流出口の内径Dより長く構成されており、前記細管流出口が前記溝部の最奥面に略等間隔に配設されていることを特徴とする膜状塗布ノズル。

IPC (3)：

B05C 5/02 ,  B05B 1/04 ,  B05D 1/26

FI (3)：

B05C5/02 ,  B05B1/04 ,  B05D1/26 Z

F-Term (19)：

4D075AC02 ,  4D075AC09 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075EA14 ,  4D075EA31 ,  4D075EA45 ,  4F033AA01 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA05 ,  4F033EA01 ,  4F033JA03 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA12 ,  4F041CA02 ,  4F041CA22