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J-GLOBAL ID:201203074822371269

無電解めっきによる有機薄膜トランジスタのソース及びドレイン電極の形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (7): 大野 聖二 ,  森田 耕司 ,  田中 玲子 ,  片山 健一 ,  鈴木 守 ,  加藤 真司 ,  津田 理
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2011546946
Publication number (International publication number):2012516560
Application date: Jan. 27, 2010
Publication date: Jul. 19, 2012
Summary:
溶液処理法を用いてソース及びドレイン電極を基板上に被着させるステップと、溶液処理法を用いて仕事関数改変層をソース及びドレイン電極上に形成するステップと、溶液処理法を用いて有機半導体材料をソース及びドレイン電極の間のチャネル領域に被着させるステップとを含む、有機薄膜トランジスタの製造方法。【選択図】 図4
Claim (excerpt):
有機薄膜トランジスタの製造方法であって、 溶液処理法を用いてソース及びドレイン電極を基板上に被着させるステップと、 溶液処理法を用いて仕事関数改変層をソース及びドレイン電極上に形成するステップと、 溶液処理法を用いて有機半導体材料をソース及びドレイン電極の間のチャネル領域に被着させるステップと を含む方法。
IPC (6):
H01L 29/786 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/40 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/28
FI (9):
H01L29/78 618B ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 370 ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 616U ,  H01L21/288 E ,  H01L21/288 M ,  H01L21/28 301B
F-Term (41):
4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104DD22 ,  4M104DD23 ,  4M104DD51 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD62 ,  4M104FF13 ,  4M104GG08 ,  4M104GG13 ,  4M104HH15 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110EE01 ,  5F110EE07 ,  5F110EE42 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110GG05 ,  5F110GG32 ,  5F110GG42 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK32 ,  5F110HK42
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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