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J-GLOBAL ID：201203079633893256

シリコンシードとその加工方法および加工装置

Inventor： 山口 幸男 ,  石井 敏由記 ,  今村 哲士
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 千葉 博史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011228525
Publication number (International publication number)：2012056841
Application date： Oct. 18, 2011
Publication date： Mar. 22, 2012
Summary：

【課題】多結晶シリコンロッドの製造に用いるシリコンシード等の棒状芯材について、立設部分の芯材の断面を多角形に加工して通電状態および原料ガスの炉内での流れを良好にしたシリコンシードとその加工方法および加工装置を提供する。【解決手段】多結晶シリコンの製造に用いられ、炉内に逆U字形に立設されるシリコンシードの製造方法であって、シリコンシードを形成する棒状芯材の外径に対応する溝幅の多角形の溝を外周面に有す回転砥石を用い、断面が角形の棒状芯材の側面に該回転砥石の多角形の溝を押し当てて長手方向に移動させて研削することによって該芯材を多角形断面に加工し、基端部および上端部を除く立設部分の断面が多角形であって、該基端部と該上端部および連結部分の断面が角形であるシリコンシードを製造する方法、およびシリコンシード。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

多結晶シリコンの製造に用いられ、炉内に逆U字形に立設されるシリコンシードであって、立設部分の基端部および上端部の断面が角形であり、さらに該立設部分を接続する連結部分の断面が角形である一方、該基端部および該上端部を除く立設部分の断面が多角形であることを特徴とするシリコンシード。

IPC (4)：

C01B 33/02 ,  B24B 9/06 ,  B24B 19/08 ,  B24D 5/00

FI (4)：

C01B33/02 E ,  B24B9/06 Z ,  B24B19/08 Z ,  B24D5/00 P

F-Term (19)：

3C049AA03 ,  3C049AA09 ,  3C049AA13 ,  3C049CA05 ,  3C049CB04 ,  3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BA24 ,  3C063BB01 ,  3C063BB02 ,  3C063BB04 ,  3C063EE10 ,  4G072AA01 ,  4G072BB12 ,  4G072GG01 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072HH01 ,  4G072NN17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭61-281009
  
• 特開昭61-281009
  
• 組み合わせ砥石
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-115734   Applicant：株式会社岡本工作機械製作所
• 特開昭61-281009