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J-GLOBAL ID:201203080265763264
感光性樹脂組成物、パターン状透明膜、及び表示素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
川口 嘉之
, 松倉 秀実
, 佐貫 伸一
, 丹羽 武司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010263852
Publication number (International publication number):2012113227
Application date: Nov. 26, 2010
Publication date: Jun. 14, 2012
Summary:
【課題】耐溶剤性、耐酸性、耐アルカリ性、耐熱性、透明性、及び下地との密着性に優れ、高い解像度を有するパターン状透明膜を形成することができる感光性樹脂組成物を少なくとも提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分と1,2-キノンジアジド化合物とを含有する感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂成分の一部又は全部に、スチリル基を有する特定のケイ素化合物をモノマーの一部とする共重合体(A)を用いる。【選択図】なし
Claim (excerpt):
アルカリ可溶性樹脂成分と1,2-キノンジアジド化合物とを含有する感光性樹脂組成物において、
前記アルカリ可溶性樹脂成分が、一般式(I)で表されるラジカル重合性モノマー(a1)及び一般式(I)で表されるラジカル重合性モノマー(a1)以外のその他のラジカル重合性モノマー(a2)を重合して得られる共重合体(A)を含む感光性樹脂組成物。
IPC (4):
G03F 7/075
, G03F 7/023
, C08F 230/08
, H01L 21/027
FI (4):
G03F7/075 521
, G03F7/023
, C08F230/08
, H01L21/30 502R
F-Term (37):
2H125AE13P
, 2H125AE18P
, 2H125AF05P
, 2H125AM12P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AM39P
, 2H125AN58P
, 2H125BA32P
, 2H125BA33P
, 2H125CA21
, 2H125CB05
, 2H125CC03
, 2H125CC21
, 4J100AB02T
, 4J100AB07Q
, 4J100AF10R
, 4J100AJ02S
, 4J100AL08P
, 4J100AL08S
, 4J100AL08T
, 4J100AL10S
, 4J100AM21R
, 4J100BA02P
, 4J100BA03R
, 4J100BA77Q
, 4J100BC43R
, 4J100BC53T
, 4J100BC54S
, 4J100CA03
, 4J100CA06
, 4J100DA01
, 4J100DA36
, 4J100DA39
, 4J100DA55
, 4J100DA62
, 4J100JA38
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