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J-GLOBAL ID：201203083452551814

ガス処理装置

Inventor： 二川 正康
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010154186
Publication number (International publication number)：2012018985
Application date： Jul. 06, 2010
Publication date： Jan. 26, 2012
Summary：

【課題】パージガスの量を従来と比較して減らすことが可能となり、原料ガスの流れへの影響を減らしたり、絞り穴を大きくして観察部の視野を広くしたりすることができるガス処理装置を提供する。【解決手段】被処理体3を処理用ガスで処理するガス処理装置1であって、ガス処理室2と、処理中の前記被処理体3を観察可能な観察窓が形成されたパージガス室30と、前記観察窓からの観察方向上で、前記観察窓と前記被処理体3の載置位置との間に絞り穴が形成された絞り部材と、前記パージガス室30内にパージガスを導入するパージガス導入口と、を備え、前記パージガスの導入方向が、前記観察方向からみて前記絞り穴の重心線からずれるように前記パージガス導入口が配置される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被処理体を処理用ガスで処理するガス処理装置であって、 内置される被処理体を処理用ガスで処理するガス処理室と、 上記被処理体を観察可能な観察窓が形成されたパージガス室と、 上記観察窓からの観察方向上で、かつ上記観察窓とガス処理室内での被処理体の配置位置との間に位置する絞り穴が形成された絞り部材と、 一端にパージガス導入口が形成され、上記パージガス室にパージガスを導入するパージガス導入部とを備え、 上記パージガス導入部から上記パージガス室へのパージガスの導入方向が、上記観察方向からみて上記絞り穴の重心線からずれるように、上記パージガス導入部が配置されることを特徴とするガス処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44

FI (2)：

H01L21/205 ,  C23C16/44 J

F-Term (25)：

4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030GA06 ,  4K030GA09 ,  4K030KA11 ,  4K030KA12 ,  4K030KA37 ,  4K030KA39 ,  5F045AA04 ,  5F045AF03 ,  5F045AF04 ,  5F045AF09 ,  5F045BB08 ,  5F045CA10 ,  5F045CA12 ,  5F045DP15 ,  5F045DP27 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB02 ,  5F045EC03 ,  5F045EE14 ,  5F045EE20 ,  5F045EF17 ,  5F045EK07 ,  5F045GB10