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J-GLOBAL ID:201204000651074384  Research Project code:4282 Update date:Oct. 07, 2013

マイクロ研削工具の開発とメカニカルマイクロファブリケーションへの応用

Study period:1999 - 2003
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
超精密半導体製造技術を駆使したLIGAプロセスの露光プロセスをマイクロ研削に置換した、メカニカルマイクロファブリケーションシステムの開発を行いました。高速電鋳技術を開発できたとともに□50μmのマイクロコラムとその反転金型を試作しました。
Research program: 地域研究開発促進拠点支援(RSP)事業
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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