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J-GLOBAL ID:201204011255249939  Research Project code:4422 Update date:Oct. 07, 2013

電気的検出磁気共鳴法による半導体評価装置

Study period:1996 - 1999
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
電子スピン共鳴を利用し、磁気共鳴周波数としてUHF帯を用いて半導体中の格子欠陥や微量不純物を常温・非破壊でしかも高感度で計測できる装置を開発しました。現在、実用化に向けて研究を続けています。
Research program: 地域研究開発促進拠点支援(RSP)事業
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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