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J-GLOBAL ID:201204012107542291  Research Project code:6681 Update date:Oct. 07, 2013

ツインプローブ顕微鏡による局所電子物性評価装置の開発

Study period:2009 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
ナノスケールサイズで組み込まれた高性能デバイスの評価手法として、二探針を有する(ツイン)プローブ顕微鏡を応用したナノスケール電子物性評価の手法および装置の開発を行う。本研究装置の大きな特徴は、互いのプローブに働く相互作用力を逐次検出し、その間隔が精密に制御された状態下において、プローバ間での極微小な電圧-電流計測(局所電子物性評価)を行えることにある。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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