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J-GLOBAL ID:201204021953538433  Research Project code:6008 Update date:Oct. 07, 2013

フッ素ゴムの気体透過低減コーティングの研究開発

Study period:2009 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
フッ素ゴムは種々の真空装置に広く用いられている。フッ素ゴムの気体透過率を低減出来れば、到達真空度や排気速度の向上し、不純物低減やプロセス時間短縮が出来る。気体透過率低減技術としては、既にダイヤモンド状炭素(DLC)膜形成が実用化されているが、フッ素ゴムではその透過率低減効果は僅かしかない。それは、フッ素ゴム表面の分子間に大きな隙間があるためである。本課題では、隙間を埋める工夫とより低温でDLC成膜する技術を開発する。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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