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J-GLOBAL ID:201204028197428950  Research Project code:5414 Update date:Oct. 07, 2013

Siウェハやガラスなどの易損基板の非接触ハンドリング装置の開発

Study period:2008 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
ガラスやシリコンなどの各種基板(面積に比べて厚さの非常に薄いもの)を移送する時に、基板損傷のリスクをゼロにできる完全非接触ハンドリング技術を開発する。接触搬送と同程度の加速特性を実現するため、強い非接触把持力を発生する振動板の設計・開発を行い、ハンドリングシステムの可能性を卓上型の実験装置で検証する。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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