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J-GLOBAL ID:201204032942982945  Research Project code:6187 Update date:Oct. 07, 2013

電子デバイス内電場分布直接測定法の開発

Study period:2008 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
電子デバイスの微細構造解析には、空間分解能の高い電子顕微鏡が良く用いられる。しかし、デバイス内の、電場・磁場の様相を高い空間分解能でとらえる技術は、限られた条件でしか開発されていない。本研究では、研究代表者が開発した、従来型透過顕微鏡内で、微細構造観察と同時に電場・磁場の空間分布を定量的に測定可能な影像歪法を用い、電子デバイス、たとえば電界放出電子ディスプレイ(FED)やプラズマディスプレイパネル(PDP)などの電極周囲の電場分布を直接測定し、電極形状開発に必要な電場分布と、デバイス劣化に伴う電場分布変化を直接測定することを試みる。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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