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J-GLOBAL ID:201204039436142330  Research Project code:9367 Update date:Oct. 07, 2013

引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用

Study period:2005 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
強い引張応力を持つシリコン薄膜を新しく導入して、マイクロミラーデバイスを多くのアプリケーションに適用できるよう性能アップする。主に実用化を阻んでいるのは以下の3問題である。 1低電圧駆動で、かつ大きなミラー回転角を得ることが難しいこと 2ミラー回転角の高精度制御が難しいこと 3高速動作に適した、軽くて光の波長レベルで平坦なミラーの製作が難しいこと本研究は直接には1と3を解決するマイクロミラーデバイスの試作と評価である。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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